应用

适用于气体和液体介质、具有高纯度要求的侵蚀性介质以及侵蚀性环境

半导体和平板显示屏产业

气体输配系统

医用气体

连接应用

功能特性

带隔膜元件的机械式压力表

设计紧凑，死体积最小，减少了颗粒的产生和夹带

氦泄漏试验，泄漏率≤ 10-10 kPa · l/s

电抛光接液部件，隔膜元件和测量腔的表面Ra < 0.25 μm [Ra < 10 μin]

电抛光316L过程连接器部件，带金属密封盘，轨道焊到测量腔上

描述

该微型膜片压力表可满足有限空间内的高纯应用需求，如较小的集成式气棒和气体箱组件。

标称尺寸为1"和1.3"，非常适合涉及气体、液体和腐蚀性介质的应用，压力 可达160 psi。

该微型隔膜真空计经过氦气泄漏测试，内部经过电抛光处理，完美符合高纯度标准。

该微型隔膜真空表具有超高纯特性，适用于半导体和平板显示器行业、各种气体分配系统以及医疗气体应用。

该微型隔膜真空表符合SEMATECH和SEMI标准，能以 方式确保应用所需的质量。